产业应用

TFT LCD、LED厂设备                                        低溢出气体
机械用的密封件　帮浦　阀件                            干制程：化学气相沉绩、蚀刻(ETCH)
接头　搅拌器　管件                                            设备:TEL、ULVAC、AKT
静态或有限的动力学(O形环)                              湿制程设备：显影、蚀刻、清洗设备、DNS、DMS、Shibarura、Manz、SPP。
相当低的压力(O形环)
宽广的温度范围
耐化学的能力、扩散(Diffusin)设备